亚硫酸金钠金水及其合成方法和应用

基本信息

申请号 CN202111348340.X 申请日 -
公开(公告)号 CN114164465A 公开(公告)日 2022-03-11
申请公布号 CN114164465A 申请公布日 2022-03-11
分类号 C25D3/48(2006.01)I;C25D7/12(2006.01)I 分类 电解或电泳工艺;其所用设备〔4〕;
发明人 邓川;王彤;任长友;曾智聪 申请(专利权)人 深圳市联合蓝海应用材料科技股份有限公司
代理机构 北京润平知识产权代理有限公司 代理人 刘亭亭
地址 518020广东省深圳市罗湖区笋岗街道笋西社区宝安北路1007号笋岗七号仓七层
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及无氰镀金液领域,公开了亚硫酸金钠金水及其合成方法和应用。该制备方法包括:将氯金酸溶液与氨水进行沉淀反应,得到明亮的橙黄色沉淀产物;其中,氨水的浓度为10‑15wt%,且沉淀产物的终点pH为7.2‑8.5;将所述沉淀产物进行清洗过滤,得到雷酸金沉淀;将所述雷酸金沉淀与水混合配制成浆液,然后所述浆液与亚硫酸盐进行初始反应,再调节得到的反应产物的终止pH大于10且不大于11,得到碱性产物;将所述碱性产物进行再反应,得到不含三价金配合物的镀金液。获得无色的、而非仅是透明的无氰镀金液,即无色透明亚硫酸金钠金水,稳定性好、克服了杂质影响。能够应用于晶圆和芯片的加工中,尤其是晶圆电镀金的应用。