预测电镀液的电镀均匀性的电化学方法、筛选电镀液的方法和应用
基本信息
| 申请号 | CN202111243381.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113960148B | 公开（公告）日 | 2022-07-08 |
| 申请公布号 | CN113960148B | 申请公布日 | 2022-07-08 |
| 分类号 | G01N27/48（2006.01）I;C25D21/00（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 王彤;任长友;邓川;刘鹏 | 申请（专利权）人 | 深圳市联合蓝海应用材料科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京润平知识产权代理有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 518020广东省深圳市罗湖区笋岗街道笋西社区宝安北路1007号笋岗七号仓七层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及电镀金整平性预测领域，公开了预测电镀液的电镀均匀性的电化学方法、筛选电镀液的方法和应用。电化学方法包括：在装有电镀液的电镀池上施加电压U进行电镀；将所述电压U进行变化，并测量对应的电镀电流强度I，绘制电镀电流强度I对所述电压U的变化曲线；通过所述变化曲线，计算为所述电镀液设定的至少两个电流密度值之间的电位差绝对值，用于预测所述电镀液进行电镀制得的电镀均匀性。由此有效判断电镀液的电镀均匀性且用时短，特别是无氰镀金液用于晶圆镀金的电镀均匀性。对于在电极表面吸附不具有强烈对流依赖性的添加剂也是有效的。 |
