首页/ 江阴润玛电子材料股份有限公司/ 专利详情

一种铜制程用剥离液的高效制备装置

基本信息

申请号 CN202120816401.X 申请日 -
公开（公告）号 CN214862795U 公开（公告）日 2021-11-26
申请公布号 CN214862795U 申请公布日 2021-11-26
分类号 B01F7/18（2006.01）I;B01F3/22（2006.01）I;B01F15/02（2006.01）I;B01F15/06（2006.01）I;G03F7/42（2006.01）I 分类 一般的物理或化学的方法或装置;
发明人 戈烨铭;何珂;汤晓春 申请（专利权）人 江阴润玛电子材料股份有限公司
代理机构 江阴市扬子专利代理事务所（普通合伙） 代理人 张琪
地址 214423江苏省无锡市江阴市周庄镇欧洲工业园区
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及一种铜制程用剥离液的高效制备装置，属于剥离液的制备技术领域。包括分别与混合罐进口连接的醇醚储罐、有机溶剂储罐、缓蚀剂储罐、表面活性剂储罐、去离子水储罐和顺次连接的混合罐、调节阀、过滤装置和成品罐，所述混合罐的内壁上设置有环形凸起，所述环形凸起上设置有导流盘，所述导流盘的中心位置为圆锥凸起，所述导流盘的边侧为向内带有坡度的导流环，圆锥凸起的外侧与导流环的内侧之间间隔形成导流通道，所述导流通道的底面连通导流管，所述导流管的内径从上到下逐渐减小，所述导流管的管壁上均匀的设置有多个孔洞，所述混合罐内还设置有搅拌装置。本实用新型结构简单，使各个组分原料充分搅拌混合，缩短了生产所需的时间。