一种柔性面板用光刻胶清洗剂及其生产工艺
基本信息
| 申请号 | CN202110646419.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113568287A | 公开（公告）日 | 2021-10-29 |
| 申请公布号 | CN113568287A | 申请公布日 | 2021-10-29 |
| 分类号 | G03F7/42（2006.01）I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 汤晓春;何珂;戈烨铭 | 申请（专利权）人 | 江阴润玛电子材料股份有限公司 |
| 代理机构 | 江阴市轻舟专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 曹键 |
| 地址 | 214423江苏省无锡市江阴市周庄镇欧洲工业园区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种柔性面板用光刻胶清洗剂及其生产工艺，属于清洗剂技术领域。其本发明提供的柔性面板用光刻胶清洗剂包括以下重量百分比的组分：1.5‑9.5％季铵氢氧化物、0.5‑16.5％水、4.5‑21.5％异丙二醇单苄基醚、0.5‑5.5％缓蚀剂，余量为有机溶剂。且本发明利用了4‑羟基丁酸、二乙烯三胺、苄氯、肉桂醛和γ‑（2,3‑环氧丙氧基）丙基三甲氧基硅烷逐步反应生成缓蚀剂，并在季铵氢氧化物光刻胶清洗剂中引入了该缓蚀剂，因该缓蚀剂中的硅氧烷链和曼妮希碱、苯环、咪唑啉的结构特性，使得其极易在铜箔或铝箔表面形成致密的保护膜，避免了季铵氢氧化物对铜箔或铝箔的腐蚀，且对光刻胶高效清洗。 |
