一种超净高纯过氧化氢的生产工艺
基本信息
| 申请号 | CN202110664604.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113636526A | 公开（公告）日 | 2021-11-12 |
| 申请公布号 | CN113636526A | 申请公布日 | 2021-11-12 |
| 分类号 | C01B15/013（2006.01）I | 分类 | 无机化学; |
| 发明人 | 戈士勇;何珂;汤晓春 | 申请（专利权）人 | 江阴润玛电子材料股份有限公司 |
| 代理机构 | 江阴市轻舟专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 曹键 |
| 地址 | 214423江苏省无锡市江阴市周庄镇欧洲工业园区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种超净高纯过氧化氢的生产工艺，涉及化工技术领域，包括以下步骤：（1）将工业过氧化氢进行氧化处理，得到氧化处理过氧化氢，氧化处理依次分为惰性气体的排出和氧化剂的氧化；（2）将上述得到的氧化处理过氧化氢采用交换树脂进行过滤处理，得到树脂过滤过氧化氢；（3）再将树脂过滤过氧化氢采用过滤膜进行微过滤处理，过滤得到的滤液即为高纯过氧化氢；通过本发明工艺对工业过氧化氢进行处理，能够大幅度的提高工业过氧化氢的纯度，从而使得其能够更好的应用于半导体晶体片的清洗剂、腐蚀剂和光刻胶的去除剂，电子工业制取高级绝缘层、去除电镀液中无机杂质，效果显著，提高产品的质量。 |
