一种蜂窝状湿法黑硅绒面结构及其制备方法以及黑硅电池及其制备方法

基本信息

申请号 CN201711005958.X 申请日 -
公开(公告)号 CN107742662B 公开(公告)日 2019-09-20
申请公布号 CN107742662B 申请公布日 2019-09-20
分类号 H01L31/18 分类 基本电气元件;
发明人 李璐;陈淳;孙杰;高杨;罗小钢 申请(专利权)人 江西瑞安新能源有限公司
代理机构 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 代理人 江西瑞安新能源有限公司
地址 338000 江西省新余市渝水区新兴工业产业园大一路22号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供了一种蜂窝状湿法黑硅绒面结构及其制备方法以及黑硅电池及其制备方法,涉及黑硅电池制备技术领域。一种蜂窝状湿法黑硅绒面结构的制备方法包括:将金刚线多晶硅片通过湿法黑硅槽式挖孔设备进行挖孔作业;将完成挖孔作业后的产物通过RENA链式设备进行扩孔作业,并在RENA链式设备的碱洗槽内的碱洗液中添加NH3.H2O和H2O2,在酸洗槽内的酸洗液中加H2O2。此方法可以制备得到质量优良的理想型的蜂窝状湿法黑硅绒面结构,充分的利用了现有多晶生产设备,有效降低的设备采购/改造成本。制备得到的黑硅电池的外观性能良好,电性能优异,具有较大的市场化推广价值。