一种传感器的制造方法
基本信息
| 申请号 | CN201611037812.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN106430075B | 公开（公告）日 | 2017-11-07 |
| 申请公布号 | CN106430075B | 申请公布日 | 2017-11-07 |
| 分类号 | B81B3/00(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I | 分类 | 微观结构技术〔7〕; |
| 发明人 | 付关军 | 申请（专利权）人 | 山东鸿荣电子有限公司 |
| 代理机构 | 苏州广正知识产权代理有限公司 | 代理人 | 山东鸿荣电子有限公司 |
| 地址 | 253100 山东省德州市平原县经济开发区东区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种传感器的制造方法，包括以下步骤：（1）提供第一衬底，所述第一衬底包括具有第一光接收区的正面和与所述正面相对的背面；（2）所述第一衬底的背面制作凹槽，所述凹槽深度小于或等于所述第一衬底的厚度的一半；（3）提供第二衬底，并将所述第二衬底固定于所述凹槽内，所述第二衬底包括具有第二光接收区的正面和与所述正面相对的背面，所述第二衬底的正面与所述第一衬底的背面共面。 |
