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一种批量化制备高纯亚微米水合硅和硅微粒的方法

基本信息

申请号 CN201610372956.3 申请日 -
公开（公告）号 CN105818287A 公开（公告）日 2016-08-03
申请公布号 CN105818287A 申请公布日 2016-08-03
分类号 B28D5/04(2006.01)I 分类 加工水泥、黏土或石料;
发明人 孙卓;刘素霞 申请（专利权）人 赛韫科技（上海）有限公司
代理机构 北京连城创新知识产权代理有限公司 代理人 上海纳晶科技有限公司;赛韫科技（上海）有限公司
地址 200062 上海市普陀区中山北路3663号理科大楼A607
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及半导体和太阳能硅材料技术领域，具体地说是一种批量化制备高纯亚微米水合硅和硅微粒的方法，采用微细金刚石线，在去离子水辅助下，对高纯硅棒或硅锭进行研磨切割，当硅微粒浓度达到10wt%后，将混合物进行提纯分离，形成压滤水和水合硅微粒；对压滤水进行纯化后，进行循环使用，对水合硅微粒进行真空冷冻干燥，形成高纯硅微粒。本发明同现有技术相比，采用微细金刚石线切割工艺，在去离子水作用下对高纯硅棒进行研磨切割制备高纯硅片，同时，将切割后的去离子水和硅微粒的混合物进行提纯，以制备高纯水合硅微粒或高纯硅微粒，并加以资源化利用。经硅微粒提纯后的水溶液再净化后可注入微细金刚石线切割工艺工程中进行循环使用。