一种静电吸盘及晶圆测试方法
基本信息
| 申请号 | CN202010194361.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113496934A | 公开（公告）日 | 2021-10-12 |
| 申请公布号 | CN113496934A | 申请公布日 | 2021-10-12 |
| 分类号 | H01L21/683（2006.01）I;H01L21/66（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 邱海斌;严大生;蔡育源 | 申请（专利权）人 | 芯恩（青岛）集成电路有限公司 |
| 代理机构 | 北京汉之知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 高园园 |
| 地址 | 266555山东省青岛市黄岛区中德生态园团结路2877号ICIC办公楼4楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种静电吸盘及晶圆测试方法，包括：基板，用于承载待吸附物；绝缘层，设置在所述基板的上方，通过静电吸附所述待吸附物；导电部，导电部设置在所述绝缘层中，与所述待吸附物的背面的至少部分区域接触；其中所述基板和所述绝缘层包括同心设置的可升降的多个部分。本发明所述的静电吸盘可以适用于不同规格的晶圆测试，不仅可以降低晶圆的破片率，同时能够提高机台的利用率。 |
