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光掩模清洗机的液体分配盘

基本信息

申请号 CN200820034063.9 申请日 -
公开（公告）号 CN201175710Y 公开（公告）日 2009-01-07
申请公布号 CN201175710Y 申请公布日 2009-01-07
分类号 B08B3/02(2006.01) 分类 清洁;
发明人 徐飞;金海涛 申请（专利权）人 常州瑞科微电子科技有限公司
代理机构 常州市维益专利事务所 代理人 贾海芬
地址 213022江苏省常州市新北区汉江路376号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及一种光掩模清洗机的液体分配盘，属于光掩模清洗机技术领域。主要包括盘体、贯穿盘体的安装孔以及设置在盘体内两个独立的第一液体流道和第二液体流道，所述的第一液体流道由第一环形道和与第一环形道相通的进液流道及出液流道构成，六个以上的出液流道沿盘体径向分布，且该出液流道的流道出口位于盘体径向的外周面；所述的第二液体流道由第二环形道和与第二环形道相通的进液流道及出液流道构成，三个以上的出液流道沿盘体轴向分布，该出液流道的流道出口位于盘体的上端面。本实用新型具有结构紧凑、体积小的特点，有效减少光掩模清洗机处理舱的体积。