光掩模清洗机的工艺处理舱
基本信息
| 申请号 | CN200820034064.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN201177730Y | 公开（公告）日 | 2009-01-07 |
| 申请公布号 | CN201177730Y | 申请公布日 | 2009-01-07 |
| 分类号 | G03F1/00(2006.01);B08B11/00(2006.01);B08B3/04(2006.01) | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 徐飞;金海涛 | 申请（专利权）人 | 常州瑞科微电子科技有限公司 |
| 代理机构 | 常州市维益专利事务所 | 代理人 | 贾海芬 |
| 地址 | 213022江苏省常州市新北区汉江路376号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种光掩模清洗机的工艺处理舱，属于光掩模清洗机技术领域。主要包括外罩、内套和顶盖，所述的外罩由从上到下依次密封连接的上罩、中罩和底罩构成，上罩具有圆锥形的罩壁，中罩的罩壁上设有一个抽气口，且中罩内具有一个倒锥形的挡流圈，挡流圈延伸并超过抽气口，具有排液口的底罩与内套的下部密封连接，顶盖密封安装在内套的上部。本实用新型具有能减少对光掩模交叉污染，提高光掩模清洗效率的特点。 |
