一种微流控芯片批量对齐键合装置

基本信息

申请号 CN202010400554.6 申请日 -
公开(公告)号 CN111495453A 公开(公告)日 2020-08-07
申请公布号 CN111495453A 申请公布日 2020-08-07
分类号 B01L3/00 分类 一般的物理或化学的方法或装置;
发明人 梅塔格斯·加绍·艾哈迈德;蔡俊杰 申请(专利权)人 德运康明(厦门)生物科技有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 361000 福建省厦门市翔安区鸿翔西路1888号2#大楼十五层H室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种微流控芯片批量对齐键合装置,其包括两个键合板,两个所述键合板之间相互铰接,其一所述键合板表面开设有至少一个用于放置基片的基片槽,另一所述键合板表面开设有用于放置盖片的盖片槽,两个所述键合板相互转动盖合时,所述基片槽与盖片槽相对应,两个所述键合板均设置有用于抵紧基片和盖片的弹性固定件。本发明具有提高芯片键合成功率以及键合效率的优点。