一种微流控芯片批量对齐键合装置
基本信息
| 申请号 | CN202010400554.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111495453B | 公开（公告）日 | 2021-08-10 |
| 申请公布号 | CN111495453B | 申请公布日 | 2021-08-10 |
| 分类号 | B01L3/00 | 分类 | 一般的物理或化学的方法或装置; |
| 发明人 | 梅塔格斯·加绍·艾哈迈德;蔡俊杰 | 申请（专利权）人 | 德运康明（厦门）生物科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 361000 福建省厦门市翔安区鸿翔西路1888号2#大楼十五层H室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种微流控芯片批量对齐键合装置，其包括两个键合板，两个所述键合板之间相互铰接，其一所述键合板表面开设有至少一个用于放置基片的基片槽，另一所述键合板表面开设有用于放置盖片的盖片槽，两个所述键合板相互转动盖合时，所述基片槽与盖片槽相对应，两个所述键合板均设置有用于抵紧基片和盖片的弹性固定件。本发明具有提高芯片键合成功率以及键合效率的优点。 |
