一种转塔式芯片编带机

基本信息

申请号 CN201920841443.1 申请日 -
公开(公告)号 CN210338399U 公开(公告)日 2020-04-17
申请公布号 CN210338399U 申请公布日 2020-04-17
分类号 B65B15/04;B65B35/38 分类 输送;包装;贮存;搬运薄的或细丝状材料;
发明人 李辉;王体;李俊强;陈俊安 申请(专利权)人 深圳市诺泰自动化设备有限公司
代理机构 深圳市中联专利代理有限公司 代理人 李俊
地址 518000 广东省深圳市宝安区沙井街道和一社区沙井万丰华丰创业园厂房1栋四层D座南侧
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种转塔式芯片编带机,涉及芯片加工领域,包括上下料系统、校正补偿系统、取放系统、编带封合系统和检测系统;其中,上下料系统,用于运送装载了芯片的晶圆盘至指定位置,以及将空置的晶圆盘复位,以便装载芯片;校正补偿系统,用于抓取晶圆盘,并微调晶圆盘的位置;取放系统,用于拾取和运送晶圆盘上的芯片,进行芯片位置的转移;编带封合系统,接收来自取放系统运送的芯片,进行编带封装;检测系统,用于筛选出芯片中的良品和不良品,并剔除其中的不良品芯片,本实用新型采用多摆臂、多吸嘴结构,能够从蓝膜的晶圆盘中连续精准的取晶,同时精准的放入载带进行编带封装,实现芯片高速空间转移的高速贴片,大大节省人力。