一种XY自校正顶针模组
基本信息
| 申请号 | CN201920849469.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN209963038U | 公开（公告）日 | 2020-01-17 |
| 申请公布号 | CN209963038U | 申请公布日 | 2020-01-17 |
| 分类号 | H01L21/677;H01L21/68;H01L21/683 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 王体;李辉 | 申请（专利权）人 | 深圳市诺泰自动化设备有限公司 |
| 代理机构 | 深圳市中联专利代理有限公司 | 代理人 | 李俊 |
| 地址 | 518000 广东省深圳市宝安区沙井街道和一社区沙井万丰华丰创业园厂房1栋四层D座南侧 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种XY自校正顶针模组，包括安全防护罩、XY轴运动机构、Z轴运动机构和顶针运动机构，所述XY轴运动机构上端设置有Z轴运动机构，所述Z轴运动机构上端设置有顶针运动机构，所述Z轴运动机构上端设置有安全防护罩，所述XY轴运动机构由X轴运动机构与Y轴运动机构组成，所述X轴运动机构由X轴传动电机、偏心轮传动机构、X轴交叉滚柱轴承、Y轴传动电机、弹簧推力机构、移动工作平台、Y轴交叉滚柱轴承与XY校正平台底板组成，这样大大解放了操作员的双手，降低人力成本，提高生产效率，其结果能够满足半导体芯片高速度、高精度、高可靠性、高自动化的芯片生产工艺要求。 |
