一种转塔式固晶机
基本信息
| 申请号 | CN201921031163.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN210349783U | 公开（公告）日 | 2020-04-17 |
| 申请公布号 | CN210349783U | 申请公布日 | 2020-04-17 |
| 分类号 | H01L21/67;H01L21/677;H01L21/683;H01L21/687;H01L33/48 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 李辉;王体;李俊强 | 申请（专利权）人 | 深圳市诺泰自动化设备有限公司 |
| 代理机构 | 深圳市中联专利代理有限公司 | 代理人 | 李俊 |
| 地址 | 518000 广东省深圳市宝安区沙井街道和一社区沙井万丰华丰创业园厂房1栋四层D座南侧 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种转塔式固晶机，涉及芯片制造领域，包括校正补偿系统、取晶系统、点胶系统、固晶系统、转塔系统和检测系统；其中，校正补偿系统，用于微调芯片在装载芯片的晶圆盘上的位置；取晶系统，用于拾取晶圆盘上的芯片；点胶系统，用于对引线框架进行点胶操作；固晶系统，用于对芯片和引线框架进行固晶操作；转塔系统，进行芯片位置的转移，依次经过取晶系统、点胶系统和固晶系统；检测系统，进行芯片取晶前和固晶前位置参数补偿校正，本实用新型采用一套转塔式多摆臂吸嘴系统，与三套音圈电机下压机构的组合，以及配合高速的计算机运算控制与高速的工业相机视像处理系统，实现从晶圆盘中连续取晶、点胶、固晶等工艺要求。 |
