一种高灵敏度霍尔元件

基本信息

申请号 CN202022748350.X 申请日 -
公开(公告)号 CN213692095U 公开(公告)日 2021-07-13
申请公布号 CN213692095U 申请公布日 2021-07-13
分类号 H01L43/04(2006.01)I;H01L43/06(2006.01)I;H01L43/10(2006.01)I;H01L43/14(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 胡双元 申请(专利权)人 苏州矩阵光电有限公司
代理机构 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 代理人 张乐乐
地址 215614江苏省苏州市张家港市凤凰镇科创园D栋,矩阵光电
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及半导体技术领域,具体涉及一种高灵敏度霍尔元件,旨在解决现有技术中砷化镓霍尔元件灵敏度偏低的问题,其技术要点在于包括依次层叠设置的衬底、功能层、磁性层和位于所述功能层各个角的金属电极,磁性层位于所述功能层远离所述衬底一侧表面的中心紧贴设置。本实用新型通过磁性层的作用,使得在磁场中,通过霍尔元件功能区的磁力线密度大幅增加,放大外界磁感应强度,从而同步提升霍尔元件的灵敏度,并且不增加工艺复杂性和成本。