一种磁传感部件、磁传感器及磁传感部件的制备方法
基本信息
| 申请号 | CN201910488095.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112051522A | 公开（公告）日 | 2020-12-08 |
| 申请公布号 | CN112051522A | 申请公布日 | 2020-12-08 |
| 分类号 | G01R33/00(2006.01)I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 朱忻;金键;何彬德;帕勒布·巴特查亚 | 申请（专利权）人 | 苏州矩阵光电有限公司 |
| 代理机构 | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 | 代理人 | 苏州矩阵光电有限公司 |
| 地址 | 215614江苏省苏州市张家港市凤凰镇凤凰科创园D栋，矩阵光电 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种磁传感部件、磁传感器及磁传感部件的制备方法，包括：磁传感部件基体，对磁传感部件基体的两面通过抛光工艺处理形成两抛光面，在其中任一的抛光面上加工处理形成钝化层，在钝化层的部分区域上设置有粘合层，在粘合层上贴合有磁敏功能层，在磁敏功能层上设置有应力保护层，应力保护层覆盖在磁敏功能层和钝化层的剩余部分区域上。本发明磁传感部件整体结构较薄，将其反装于主磁路或导磁回路中，使得整体磁路缝隙减小，在保证磁传感器整体机械强度的基础上，提高了磁传感器的检测精度。 |
