镀膜设备
基本信息
| 申请号 | CN202120322923.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215050664U | 公开（公告）日 | 2021-12-07 |
| 申请公布号 | CN215050664U | 申请公布日 | 2021-12-07 |
| 分类号 | C23C14/50（2006.01）I;C23C14/54（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 来华杭;娄国明;谢斌斌;俞峰;周海龙 | 申请（专利权）人 | 浙江上方电子装备有限公司 |
| 代理机构 | 杭州合信专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 沈自军 |
| 地址 | 312366浙江省绍兴市滨海新城畅和路7号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请公开了一种镀膜设备，包括镀膜室以及转动安装于镀膜室内、用于承载镀膜工件的转架，镀膜设备还包括：气电组合滑环，带有相对的固定部和旋转部，固定部和旋转部上配置有相应的电路接头和流体接头，固定部相对于镀膜室固定安装，旋转部与转架绕相同轴线布置；晶振传感器，固定于转架、以采集镀膜厚度信号，晶振传感器通过导线与旋转部上的电路接头相连；冷却管路，与晶振传感器热耦合，冷却管路与旋转部上的流体接头连通。本申请的镀膜设备，通过将晶振传感器固定在转架上并跟随转架的转动而旋转，因此能够及时、准确的测量镀膜工件的膜厚度值。 |
