镀膜机工件承载系统

基本信息

申请号 CN202120250154.1 申请日 -
公开(公告)号 CN215050661U 公开(公告)日 2021-12-07
申请公布号 CN215050661U 申请公布日 2021-12-07
分类号 C23C14/50(2006.01)I 分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人 来华杭;娄国明;施成亮;俞峰;周海龙 申请(专利权)人 浙江上方电子装备有限公司
代理机构 杭州合信专利代理事务所(普通合伙) 代理人 沈自军
地址 312366浙江省绍兴市滨海新城畅和路7号
法律状态 -

摘要

摘要 本申请提供了一种镀膜机工件承载系统,包括底盘,还包括:沿周向转动安装在底盘顶面上的多个传动座;固定于所述底盘的顶盘;用于承载工件的镀膜机转架,包括:共轴线布置且绕所述轴线转动配合的上枢轴和下枢轴,其中所述上枢轴的顶部连接至所述顶盘,所述下枢轴的底部连接至对应的传动座;固定于所述上枢轴的中心齿盘;固定于所述下枢轴的转架盘;转动安装于所述转架盘上的多个工件托盘,各工件托盘绕所述中心齿盘分布,各工件托盘的外周带有与所述中心齿盘啮合传动的轮齿,传动座带动所述下枢轴相对于所述上枢轴转动时,各工件托盘自转且绕所述中心齿盘公转。本申请的镀膜机工件承载系统能够灵活装卸镀膜机转架,有效提升生产效率。