用于承载待镀膜工件的镀膜机转架
基本信息
| 申请号 | CN202120251068.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215050662U | 公开（公告）日 | 2021-12-07 |
| 申请公布号 | CN215050662U | 申请公布日 | 2021-12-07 |
| 分类号 | C23C14/50（2006.01）I;C23C16/458（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 来华杭;娄国明;施成亮;俞峰;周海龙 | 申请（专利权）人 | 浙江上方电子装备有限公司 |
| 代理机构 | 杭州合信专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 沈自军 |
| 地址 | 312366浙江省绍兴市滨海新城畅和路7号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请提供了一种用于承载待镀膜工件的镀膜机转架，包括：共轴线布置且绕所述轴线转动配合的两根枢轴；固定于其中一根枢轴的中心齿盘；固定于另一根枢轴的转架盘；转动安装于所述转架盘上的多个工件托盘，各工件托盘绕所述中心齿盘分布，各工件托盘的外周带有与所述中心齿盘啮合传动的轮齿，两根枢轴相对转动时、各工件托盘自转且绕所述中心齿盘公转。本申请的用于承载待镀膜工件的镀膜机转架具有公自转结构保证镀膜的均匀性和一致性，且便于灵活设置多层工位以满足多种镀膜需求，有助于提升生产效率。 |
