一种大沉积区域金刚石薄膜制备用热丝架
基本信息
| 申请号 | CN202110070121.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112899642A | 公开（公告）日 | 2021-06-04 |
| 申请公布号 | CN112899642A | 申请公布日 | 2021-06-04 |
| 分类号 | C23C16/27 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 赵小玻;訾蓬;徐金昌;李小安;王传奇;曹延新;玄真武;田龙;陈相栋 | 申请（专利权）人 | 中材人工晶体研究院（山东）有限公司 |
| 代理机构 | 北京志霖恒远知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 赵奕 |
| 地址 | 250200 山东省济南市章丘市双山街道经十东路7888号双创基地A15晶体楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种大沉积区域金刚石薄膜制备用热丝架，所述热丝架的结构包括：3根以上条形电极，包括正电极和负电极；若干热丝；所述条形电极彼此平行，沿与条形方向垂直的横向排成一行；所述正电极和负电极间隔排列；所述热丝一端固定于最左端的条形电极，热丝中间部分搭接于中间位置的条形电极上，另一端固定于最右端的条形电极。本发明热丝架通过设置多根条形电极，针对热丝加热时延伸造成下沉，影响碳化效果的问题，通过设置多跟条形电极，使中间位置的条形电极在提供电源的同时，对热丝提供一个承托的作用，减轻了下沉的情况，且通过设置压缩弹簧结构，或重力结构，能够对热丝提供一个拉力，克服下沉的趋势。 |
