一种单透镜型自动检测晶片基底二维形貌和温度的装置
基本信息
| 申请号 | CN201410692587.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN105698845B | 公开（公告）日 | 2018-06-29 |
| 申请公布号 | CN105698845B | 申请公布日 | 2018-06-29 |
| 分类号 | G01D21/02 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 刘健鹏;马铁中;焦宏达 | 申请（专利权）人 | 南昌昂坤半导体设备有限公司 |
| 代理机构 | 北京华沛德权律师事务所 | 代理人 | 刘杰 |
| 地址 | 102206 北京市昌平区昌平路97号新元科技园B座503室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种单透镜型自动检测晶片基底二维形貌和温度的装置，属于半导体材料无损检测技术领域。该单透镜型自动检测晶片基底二维形貌和温度的装置在光束入射至晶片基底之前，将透镜设置于分光平片之后，而在形成第二种反射光束之后，将透镜设置于分光平片之前，这样，只需要应用一个透镜即可，无需选用两个透镜，或者，在选用激光器和探测器时，无需它们自身集成有透镜，使得检测晶片基底二维形貌的装置的成本降低。 |
