曲率测量方法、系统、可读存储介质及计算机设备
基本信息
| 申请号 | CN202210506837.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114608482A | 公开（公告）日 | 2022-06-10 |
| 申请公布号 | CN114608482A | 申请公布日 | 2022-06-10 |
| 分类号 | G01B11/255（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 倪旭东;黄文勇;马铁中 | 申请（专利权）人 | 南昌昂坤半导体设备有限公司 |
| 代理机构 | 北京清亦华知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 330096江西省南昌市南昌高新技术产业开发区艾溪湖北路688号中兴科技园8号厂房一层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种曲率测量方法、系统、可读存储介质及计算机设备，方法包括：通过激光发射器沿预定方向照射于待测晶圆的预设照射位置，并控制待测晶圆进行自转，并获取到待测晶圆整圈的偏移量数据，根据偏移量数据计算出表面倾斜量；对两标准校准片分别按照上述步骤进行处理，以得到两标准校准片的偏移量数据，根据该偏移量数据计算出对应的基值及校准系数；根据基值、校准系数以及表面倾斜量计算得到待测晶圆的曲率值。本发明通过激光发射器照射在转动或自转状态下的待测晶圆，得到整圈的偏移量数据，计算出对应的表面倾斜量，利用两标准校准片来获得基值和标准系数，利用表面倾斜量、两基值和标准系数计算出待测晶圆的曲率值，节省计算成本。 |
