一种测量MOCVD行星式托盘卫星盘转速方法及装置
基本信息
| 申请号 | CN202110775866.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113533770A | 公开（公告）日 | 2021-10-22 |
| 申请公布号 | CN113533770A | 申请公布日 | 2021-10-22 |
| 分类号 | G01P3/36;C23C16/52 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 黄文勇;马铁中;颜华;倪旭东 | 申请（专利权）人 | 南昌昂坤半导体设备有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 330096 江西省南昌市高新技术产业开发区艾溪湖北路688号中兴科技园8号厂房一层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种测量MOCVD行星式托盘卫星盘转速方法及装置，通过MOCVD设备上的激光测量探头并发出一束激光；该激光照射到MOCVD设备的行星式托盘上，随着行星式托盘旋转，也会照射到卫星盘上以及卫星盘上的晶圆片；反射回的激光经分光后转换成电信号；对电信号在2个trigger脉冲信号的时间内以固定频率f采样，得出每次采样行星式托盘转过的角度Δα；根据角度Δα，计算晶圆片边缘进入和处测量点时的自转角度值ф0、ф1；通过计算出ф0和ф1角的变化即可得出卫星盘的自转速度。本发明适用于卫星盘转速大于行星式托盘转速，并且卫星盘上晶圆片数大于等于2的情况。 |
