一种测量MOCVD行星式托盘卫星盘转速装置
基本信息
| 申请号 | CN202121554202.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215415484U | 公开（公告）日 | 2022-01-04 |
| 申请公布号 | CN215415484U | 申请公布日 | 2022-01-04 |
| 分类号 | G01P3/36（2006.01）I;C23C16/52（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 黄文勇;马铁中;颜华;倪旭东 | 申请（专利权）人 | 南昌昂坤半导体设备有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 330096江西省南昌市高新技术产业开发区艾溪湖北路688号中兴科技园8号厂房一层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种测量MOCVD行星式托盘卫星盘转速装置，包括：激光测量探头，安装在MOCVD设备的腔体观察窗上，用于发射激光束到旋转的行星式托盘、卫星盘以及晶圆片上；分光片，用于将反射回的激光分光照射到探测器，将光信号转换成电信号；多通道同步数据采集卡，用于同步读电探测器和Trigger脉冲信号，并送入到计算机中分析计算，得到卫星盘的自转速度。本实用新型适用于卫星盘转速大于行星式托盘转速，并且卫星盘上晶圆片数大于等于2的情况。 |
