一种在线实时检测外延片温度的方法
基本信息
| 申请号 | CN201310651793.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN104697643B | 公开（公告）日 | 2018-06-26 |
| 申请公布号 | CN104697643B | 申请公布日 | 2018-06-26 |
| 分类号 | G01J5/06 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 严冬;马铁中;王林梓;刘健鹏 | 申请（专利权）人 | 南昌昂坤半导体设备有限公司 |
| 代理机构 | 北京华沛德权律师事务所 | 代理人 | 刘杰 |
| 地址 | 102206 北京市昌平区昌平路97号新元科技园B座503室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种在线实时检测外延片温度的方法，属于半导体检测技术领域。该方法通过引入镀膜窗口的反射率衰减因子和热辐射衰减因子，可以准确测量得到外延片的温度T。该方法能够消除反应腔窗口镀膜对在线实时温度检测值造成的影响、提高在线实时温度检测值准确度。 |
