一种生物传感器及其制备方法和应用

基本信息

申请号 CN201910804391.5 申请日 -
公开(公告)号 CN110501354B 公开(公告)日 2022-07-01
申请公布号 CN110501354B 申请公布日 2022-07-01
分类号 G01N22/00(2006.01)I 分类 测量;测试;
发明人 李阳;郭云建;高嵩;岳文静;张春伟 申请(专利权)人 济南大学
代理机构 济南圣达知识产权代理有限公司 代理人 -
地址 250022山东省济南市市中区南辛庄西路336号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及生物传感器技术领域,尤其涉及一种生物传感器及其制备方法和应用。所述传感器包括底板和芯片,所述芯片为设置在该底板上的两个并联单元和金属层,所述金属层设置在两个并联单元之间;每个并联单元包括平面状的螺旋形电感和锤状电容,所述螺旋形电感的中间具有空白区域,所述锤状电容内嵌在所述空白区域中;锤状电容上引出两条导线,其中一条导线用于接地,另一条导线与所述金属层连接。底板包括衬底和SU‑8高聚物钝化层,所述钝化层在传感器的检测区域形成预设厚度和预设面积的开口,以此形成设定空间溶剂的凹槽。本发明提出的射频生物传感器具有小尺寸、快检测速度、简易且低成本的加工过程、可定量检测等特点。