一种用于溅射靶材的加工设备
基本信息
| 申请号 | CN202122241737.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215748647U | 公开（公告）日 | 2022-02-08 |
| 申请公布号 | CN215748647U | 申请公布日 | 2022-02-08 |
| 分类号 | B24C3/04（2006.01）I;B24C1/06（2006.01）I;B24C9/00（2006.01）I | 分类 | 磨削；抛光; |
| 发明人 | 孔伟华;孔磊 | 申请（专利权）人 | 江苏迪纳科精细材料股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京哌智科创知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 赵维亮 |
| 地址 | 210000江苏省南京市江宁区滨江经济开发区盛安大道739号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种用于溅射靶材的加工设备，涉及到靶材加工设备领域，包括机座、靶材固定组件和喷砂组件，机座的工作台面上设有靶材固定组件，机座上方设有喷射组件，喷射组件设置在靶材固定组件的正上方。本实用新型中，靶材固定组件能够根据所加工的靶材的类型、尺寸大小进行配适固定，再由喷砂组件对其进行全面、均匀的自动喷砂处理，效率高；由喷砂装置对靶材喷砂后的砂粒掉落至集砂槽中，且最后在排砂内腔内部沉积，此时通过控制排砂电机对排砂转轴进行驱动，使排砂转轴外壁所设的导砂叶片对沉积的砂粒进行导料，且沿排砂口处排出，方便进行回收收集。 |
