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光学薄膜测量设备

基本信息

申请号 CN202030827703.8 申请日 -
公开（公告）号 CN306776138S 公开（公告）日 2021-08-24
申请公布号 CN306776138S 申请公布日 2021-08-24
分类号 - 分类 -
发明人 毛宗钦;刘军凯;孙思华 申请（专利权）人 睿励科学仪器（上海）有限公司
代理机构 北京启坤知识产权代理有限公司 代理人 赵晶
地址 201203 上海市浦东新区华佗路68号6幢
法律状态 -

摘要

摘要 1.本外观设计产品的名称：光学薄膜测量设备。2.本外观设计产品的用途：本外观设计产品是用于集成电路生产线工艺检测。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图1。5.本外观设计产品的底面为使用时不容易看到或看不到的部位，省略仰视图。