用于确定集成电路器件的尺寸的方法和设备
基本信息
| 申请号 | CN201710461390.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109148433B | 公开（公告）日 | 2021-06-04 |
| 申请公布号 | CN109148433B | 申请公布日 | 2021-06-04 |
| 分类号 | H01L27/02 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 张晓琳;符祖标;施耀明;徐益平 | 申请（专利权）人 | 睿励科学仪器（上海）有限公司 |
| 代理机构 | 北京市金杜律师事务所 | 代理人 | 郑立柱 |
| 地址 | 201203 上海市浦东新区华佗路68号张江创业园6幢 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 为了自动、准确、大批量地表征集成电路器件，本公开提供用于确定集成电路器件的尺寸的方法和设备。该方法包括提供集成电路器件的模板图像，模板图像包括指示模板图像中的位置及待测尺寸的测量工具。该方法还包括基于模板图像和集成电路器件的包括目标结构的待测图像，确定待测图像中的目标结构的位置。此外，该方法包括基于测量工具和待测图像中的目标结构的位置，确定目标结构的尺寸。本公开的实施例可以自动、准确、大批量地测量集成电路器件的尺寸。 |
