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一种用于膜厚测量光机的高精度支撑装置及系统

基本信息

申请号 CN202120341854.1 申请日 -
公开（公告）号 CN214308622U 公开（公告）日 2021-09-28
申请公布号 CN214308622U 申请公布日 2021-09-28
分类号 G01B11/06（2006.01）I 分类 测量；测试;
发明人 孙思华;朱强铭;刘军凯 申请（专利权）人 睿励科学仪器（上海）有限公司
代理机构 北京启坤知识产权代理有限公司 代理人 姜冰莹
地址 201203上海市浦东新区华佗路68号6幢
法律状态 -

摘要

摘要 本申请提供了一种用于膜厚测量光机的高精度支撑装置及系统，所述高精度支撑装置包括四根立柱、两根横梁以及两个支撑块，其中，一根横梁的两端分别固定在两根立柱的顶端，另一根横梁的两端分别固定在另外两根立柱的顶端，所述两个支撑块分别通过螺栓连接至所述两根横梁的侧表面上，所述两个支撑块的上表面用于固定连接至光机。根据本申请的高精度支撑装置，仅需保证支撑块的加工精度，而其他零件则具有较低的加工精度需求，便能确保光机相对于高精度平台的位置精度，从而能够避免对多数支撑装置零件进行精密加工；并且，由于无需再修磨垫片或操作调整机构，降低了对装调人员的技术能力要求，节省了人力、物力和时间。