用于扫描显微成像系统的动态准直方法
基本信息
| 申请号 | CN201810863919.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110794560B | 公开（公告）日 | 2021-07-06 |
| 申请公布号 | CN110794560B | 申请公布日 | 2021-07-06 |
| 分类号 | G02B21/00;G02B21/26;G02B7/00 | 分类 | 光学; |
| 发明人 | 张弓箭;周广梅 | 申请（专利权）人 | 睿励科学仪器（上海）有限公司 |
| 代理机构 | 北京市金杜律师事务所 | 代理人 | 苏娟;李立行 |
| 地址 | 201203 上海市浦东新区华佗路68号张江创业园6幢 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种用于扫描显微成像系统的动态准直方法，所述扫描显微成像系统包括光学系统、载物台以及设置于光学系统和载物台之间的载物吸盘，该方法包括：提供平面镜，将其放置于载物吸盘上；调整平面镜和光学系统之间的距离，形成达到单缝衍射要求的狭缝；提供激光器，使激光掠入射在垂直于光学系统的光轴的方向上通过狭缝；沿水平方向移动载物台，通过图样获取装置检测衍射图样的变化；调整载物吸盘沿竖直方向的位置，使衍射图样在载物台运动后保持不变。该动态准直方法不受光学系统影响，可在线调整，精度高、更容易操作、重复性好。由于不更改扫描显微成像系统的原有结构，激光器和图样获取装置等检测装置可放在系统外部，避免污染。 |
