一种用于晶圆应力测试的机械传动系统
基本信息
| 申请号 | CN202120255910.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214313132U | 公开（公告）日 | 2021-09-28 |
| 申请公布号 | CN214313132U | 申请公布日 | 2021-09-28 |
| 分类号 | H01L21/66（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 毛宗钦;李宇;刘军凯 | 申请（专利权）人 | 睿励科学仪器（上海）有限公司 |
| 代理机构 | 北京启坤知识产权代理有限公司 | 代理人 | 姜冰莹 |
| 地址 | 201203上海市浦东新区华佗路68号6幢 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请提供了一种用于晶圆应力测试的机械传动系统，其中，所述机械传动系统包括点支撑结构、轴承座、驱动结构以及驱动结构支座，所述点支撑结构可转动地连接至所述轴承座，所述驱动结构可转动地连接至所述驱动结构支座，所述驱动结构可转动地连接至所述点支撑结构，所述点支撑结构上方设有用于支撑和吸附晶圆的真空吸嘴，且所述点支撑结构一侧设有真空入口。根据本申请的机械传动系统，可以快速地根据需求进行晶圆三点支撑以满足硅片测量的需求，且该机械传动系统能够保证自身运行的稳定性和可靠性，同时确保晶圆在测量过程中保证硅片的可靠固定。 |
