输送载片盘用抓取装置
基本信息
| 申请号 | CN201410642395.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN105624649B | 公开（公告）日 | 2018-03-20 |
| 申请公布号 | CN105624649B | 申请公布日 | 2018-03-20 |
| 分类号 | C23C16/458 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 许福海;王亮;王明星;甘志银 | 申请（专利权）人 | 广东众元半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 528251 广东省佛山市南海区平洲南港路金谷光电产业社区昭信半导体公司 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种用于化学气相沉积设备的载片盘输送的抓取装置，主要包括底座、导杆、回转臂、机械手。本发明的输送载片盘用抓取装置，通过周向均匀吊装载片盘方式使载片盘周向受力更为均匀，保证载片盘及载片盘中的晶圆片的平稳输送，另外通过反向运用摆动导杆机构实现机械手抓取和放置动作，结构简单而可靠，较人工操作更为平稳和安全，提高生产效率。 |
