一种可拆卸式化学气相沉积喷淋装置
基本信息
| 申请号 | CN201710118651.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN108531886A | 公开（公告）日 | 2018-09-14 |
| 申请公布号 | CN108531886A | 申请公布日 | 2018-09-14 |
| 分类号 | C23C16/455 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 甘志银;沈桥 | 申请（专利权）人 | 广东众元半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 528251 广东省佛山市南海区平洲南港路金谷光电产业社区昭信半导体公司 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种可拆卸式化学气相沉积喷淋装置，主要由气体混合腔、喷淋板、喷淋管和可拆顶板组成，其特征在于在现有喷淋装置基础上加一层可拆卸顶板，该顶板具有单独水冷腔用于提供稳定的温度边界。本发明的优点是可拆顶板可以简化现有喷淋制造工艺，降低对原喷淋面的加工要求，并可以单独卸下清洗，对提高工艺质量具有积极影响。 |
