一种非接触式的喷淋清洁装置
基本信息
| 申请号 | CN201811103558.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110931384A | 公开（公告）日 | 2020-03-27 |
| 申请公布号 | CN110931384A | 申请公布日 | 2020-03-27 |
| 分类号 | H01L21/67 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 刘胜;甘志银;沈桥;植成杨 | 申请（专利权）人 | 广东众元半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 528251 广东省佛山市南海区平洲南港大街5号1楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公布了一种非接触式的喷淋清洁机构，包含清洁头、运动组件和吸尘组件。清洁头位于吸尘组件内腔，可释放能量源。运动组件驱动清洁头运动，使清洁能量源覆盖整个喷淋。吸尘组件可以和清洁头一起被运动组件驱动扫描喷淋面；或者吸尘组件外形与喷淋外形大小相仿，固定不动，运动组件驱动清洁头扫描喷淋面。吸尘组件包含一个抽气管道，抽气管道与抽气装置相连，当吸尘组件贴近喷淋时，形成相对密封的内腔，被清洁掉落的残留物由抽气装置抽走。本发明具有非接触、清洗效果好、操作简便、自动化程度高以及提高生产效率等优点。 |
