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基于动量空间色散关系的关键参数的量测方法和系统

基本信息

申请号 CN202010474340.3 申请日 -
公开（公告）号 CN111595812A 公开（公告）日 2021-06-22
申请公布号 CN111595812A 申请公布日 2021-06-22
分类号 G01N21/359;G01N21/35;G01N21/21;G06N3/04;G06N3/08 分类 测量；测试;
发明人 李同宇;石磊;陈昂;卢国鹏;殷海玮;资剑 申请（专利权）人 上海复享光学股份有限公司
代理机构 北京市金杜律师事务所 代理人 郑振
地址 200443 上海市杨浦区邯郸路220号
法律状态 -

摘要

摘要 本公开的实施例涉及一种基于动量空间色散关系的关键参数的量测方法和系统，该方法包括：根据入射光参数和所述待测目标的形貌模型，建立与待测目标的动量空间的色散曲线有关的模拟数据集；基于所述模拟数据集，训练基于神经网络的预测模型；基于入射光对待测目标的实际测量，获得待测目标在动量空间的色散关系图案，其中色散关系图案至少指示与待测目标的所述关键参数有关的色散曲线；以及基于色散关系图案，经由经训练的预测模型，从色散关系图案中提取与色散曲线有关的特征，以便确定与待测目标的至少一个关键参数有关的估计值。根据本公开的方法，可以更为高效、经济、准确地进行至少一个关键参数的度量。