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用于光学量测的方法、系统、计算设备和存储介质

基本信息

申请号 CN202011312192.1 申请日 -
公开（公告）号 CN112484968B 公开（公告）日 2021-12-21
申请公布号 CN112484968B 申请公布日 2021-12-21
分类号 G01M11/02（2006.01）I;G01Q60/24（2010.01）I;G06F30/27（2020.01）I 分类 测量；测试;
发明人 李同宇;陈昂;石磊;卢国鹏;郑敏嘉;范灵杰;殷海玮 申请（专利权）人 上海复享光学股份有限公司
代理机构 北京市金杜律师事务所 代理人 黄倩
地址 200433上海市杨浦区国定东路200号4号楼412-1室
法律状态 -

摘要

摘要 本公开涉及一种用于光学量测的方法、系统、计算设备和存储介质，该方法包括：基于关于参考模型的几何参数的预设值和色散曲线数据的坐标数据，生成用于输入神经网络模型的输入数据；基于经由多个样本训练的神经网络模型生成与几何参数的预设值相关联的模拟色散曲线数据；获取关于待测对象的测量色散曲线数据；计算测量色散曲线数据与模拟色散曲线数据的距离，以便确定距离是否符合预定条件；以及响应于确定距离不符合预定条件，基于距离确定用于更新关于参考模型的几何参数的预设值的梯度，以用于基于经更新的预设值经由神经网络模型再次生成模拟色散曲线数据以便再次计算距离。本公开能够准确并且快速地针对待测对象进行光学量测。