光学检测方法、系统及光学器件制造系统
基本信息
| 申请号 | CN201811468152.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109520712B | 公开（公告）日 | 2021-08-17 |
| 申请公布号 | CN109520712B | 申请公布日 | 2021-08-17 |
| 分类号 | G01M11/02 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 谈顺毅 | 申请（专利权）人 | 江苏慧光电子科技有限公司 |
| 代理机构 | 上海段和段律师事务所 | 代理人 | 李佳俊;郭国中 |
| 地址 | 215512 江苏省苏州市常熟市常熟经济技术开发区科创园1号楼401 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种光学检测方法、系统及光学器件制造系统，包括：图像生成系统：生成测试图像信息，将含有所述测试图像信息的光输出至待测器件；图像检测系统：根据经过所述待测器件的光得到检测图像信息；控制系统：根据所述检测图像信息的成像质量，得到像差参数。本发明可以模拟任意波前，根据补偿镜头中尚未装配的镜片，可以直接模拟出已装配的镜片能够达到最终成像效果，若发现存在问题，则可以直接给出反馈停止装配进行修正，避免将后续好的镜片装配到已存在问题的镜头上。 |
