一种集成箝位二极管的半导体功率器件

基本信息

申请号 CN202011000415.0 申请日 -
公开(公告)号 CN112216691A 公开(公告)日 2021-01-12
申请公布号 CN112216691A 申请公布日 2021-01-12
分类号 H01L27/02;H01L29/06;H01L29/78 分类 基本电气元件;
发明人 原小明 申请(专利权)人 南京江智科技有限公司
代理机构 上海申汇专利代理有限公司 代理人 南京江智科技有限公司
地址 210000 江苏省南京市江北新区惠达路6号北斗大厦9楼902室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种屏蔽栅结构位于有源区、沟槽式场板终端区围绕有源区周围的半导体功率器件。连接在漏金属和源金属(或栅金属)之间的齐纳二极管,用作SD(或GD)箝位二极管。沟槽式场板终端区围绕在有源区的周围,其中,仅有芯片阵列的存在并不会导致集成SD或GD多晶硅箝位二极管时,击穿电压的下降。