一种硅棒外形检测机构
基本信息
| 申请号 | CN202021233619.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212227982U | 公开（公告）日 | 2020-12-25 |
| 申请公布号 | CN212227982U | 申请公布日 | 2020-12-25 |
| 分类号 | G01B11/02(2006.01)I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 朱佰庆;李璐;王鹏;仇健;张毅 | 申请（专利权）人 | 长治高测新材料科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京卓岚智财知识产权代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 长治高测新材料科技有限公司 |
| 地址 | 046000山西省长治市潞州区黄碾镇西旺村 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型属于硅棒检测技术领域，特别涉及一种硅棒外形检测机构，包括底座总成，沿底座总成长度方向的两端均设有侧面视觉组件。所述底座总成长度方向的两侧设有端面移动视觉组件和端面固定视觉组件，所述端面移动视觉组件旁设有端面移动传感器组件，所述端面固定视觉组件和底座总成之间设有端面固定传感器组件。本实用新型通过高精度位移传感器结合视觉系统对硅棒表面质量和几何参数进行视觉检测的自动化装置，能够准确快速完成硅棒表面质量检测工作。 |
