一种晶硅多线切割降低金刚线损耗的切割方法

基本信息

申请号 CN202010753121.9 申请日 -
公开(公告)号 CN112078039A 公开(公告)日 2020-12-15
申请公布号 CN112078039A 申请公布日 2020-12-15
分类号 B28D5/04(2006.01)I 分类 加工水泥、黏土或石料;
发明人 唐亮;邢旭;李璐;刘云强 申请(专利权)人 长治高测新材料科技有限公司
代理机构 北京卓岚智财知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 代理人 长治高测新材料科技有限公司
地址 046000山西省长治市潞州区黄碾镇西旺村
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种晶硅多线切割降低金刚线损耗的切割方法,属于晶硅加工技术领域,线网从左向右切割晶硅,切割过程依次包括第一切割过程和第二切割过程,第一切割过程中进线量大于回线量,第二切割过程中进线量小于回线长度,第一切割过程和第二切割过程采用已使用过的金刚线,实现金刚线的重复利用,降低金刚线的损耗,降低多线切割的成本,具有广阔的市场前景。