一种晶硅多线切割降低金刚线损耗的切割方法
基本信息
申请号 | CN202010753121.9 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN112078039A | 公开(公告)日 | 2020-12-15 |
申请公布号 | CN112078039A | 申请公布日 | 2020-12-15 |
分类号 | B28D5/04(2006.01)I | 分类 | 加工水泥、黏土或石料; |
发明人 | 唐亮;邢旭;李璐;刘云强 | 申请(专利权)人 | 长治高测新材料科技有限公司 |
代理机构 | 北京卓岚智财知识产权代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人 | 长治高测新材料科技有限公司 |
地址 | 046000山西省长治市潞州区黄碾镇西旺村 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明公开了一种晶硅多线切割降低金刚线损耗的切割方法,属于晶硅加工技术领域,线网从左向右切割晶硅,切割过程依次包括第一切割过程和第二切割过程,第一切割过程中进线量大于回线量,第二切割过程中进线量小于回线长度,第一切割过程和第二切割过程采用已使用过的金刚线,实现金刚线的重复利用,降低金刚线的损耗,降低多线切割的成本,具有广阔的市场前景。 |
