一种单晶炉高温熔料泄漏引导保护装置
基本信息
| 申请号 | CN201110414098.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN102492982A | 公开（公告）日 | 2012-06-13 |
| 申请公布号 | CN102492982A | 申请公布日 | 2012-06-13 |
| 分类号 | C30B15/20(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 冯维亮;冯磊 | 申请（专利权）人 | 上海九晶电子材料股份有限公司 |
| 代理机构 | 上海天翔知识产权代理有限公司 | 代理人 | 孙景宜 |
| 地址 | 201617 上海市松江区长塔路399号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种单晶炉高温熔料泄漏引导保护装置，包括石墨坩埚和设置于石墨坩埚底部的坩埚托底，其特征在于，所述坩埚托底的下表面设置有圆环凸起。这种结构设计能让发生漏料后高温熔料通过石墨坩埚的缝隙流到坩埚托底，然后高温熔料在坩埚底座下端处会遇到圆环凸起，从而会沿着圆环外壁滴向炉底护板，而不是沿连杆轴流向波纹管，可以防止漏料时候造成对波纹管的损坏，更保障了热系统的安全性。 |
