一种大数值孔径激光镜头成像检验系统

基本信息

申请号 CN202021713405.7 申请日 -
公开(公告)号 CN212254545U 公开(公告)日 2020-12-29
申请公布号 CN212254545U 申请公布日 2020-12-29
分类号 G01M11/02(2006.01)I 分类 测量;测试;
发明人 周志凯;刘良清;徐海锋 申请(专利权)人 卡门哈斯激光科技(苏州)有限公司
代理机构 重庆天成卓越专利代理事务所(普通合伙) 代理人 卡门哈斯激光科技(苏州)有限公司
地址 215201江苏省苏州工业园区苏虹西路155号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种大数值孔径激光镜头成像检验系统,单模单色光源和光纤准直镜构成平行光系统,待测激光镜头沿光轴滑动安装在光纤准直镜和标准物镜之间,用于将入射平行光束聚焦为焦点光斑,且焦点光斑的位置与标准物镜的焦点重合,标准物镜和标准管镜组成共轭成像系统,用于将焦点光斑放大成聚焦光束像并投影到所述面阵CCD元件上,面阵CCD元件的位置与标准管镜的焦点重合,共轭成像系统的放大倍率为10X‑100X,待测激光镜头的数值孔径NA小于等于标准物镜的数值孔径NA。具有操作灵活、可视性强、容易判定和标准化的特点,提升激光光学镜头设计及光学检验的质量和效率,使激光镜头的生产具有更高的生产效率和更规范的检验质量控制。