采用MOCVD工艺制备REBCO高温超导带材的方法
基本信息
| 申请号 | CN201911140603.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111020528B | 公开（公告）日 | 2021-11-19 |
| 申请公布号 | CN111020528B | 申请公布日 | 2021-11-19 |
| 分类号 | C23C16/40（2006.01）I;H01B12/02（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 熊旭明;邰林益;任洪峰;邢晓杰;王昊;蔡渊 | 申请（专利权）人 | 苏州新材料研究所有限公司 |
| 代理机构 | 苏州创元专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 范晴;程东辉 |
| 地址 | 215000江苏省苏州市工业园区星湖街218号生物纳米园C18栋 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请公开了一种采用MOCVD技术制备REBCO高温超导带材的方法，包括：S1、将金属有机源送至雾化器，使其雾化；S2、雾化后的金属有机源送至蒸发器，使其蒸发成金属有机源气体；S3、将金属有机源气体送入MOCVD反应室，制得REBCO超导薄膜；雾化器包括：内管，外管，由内管的管腔形成的内流道，形成于内管和外管间的外流道；在步骤S1中，将金属有机源溶液通入内流道并从内流道的输出口喷出，将金属有机源溶剂通入外流道并从外流道的输出口喷出，并冲刷所述内流道的输出口。本申请可获得更高的沉积速率和更高的产能。 |
