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用于MOCVD上控制流量的泵液装置

基本信息

申请号 CN202111234523.9 申请日 -
公开（公告）号 CN114017398A 公开（公告）日 2022-02-08
申请公布号 CN114017398A 申请公布日 2022-02-08
分类号 F04F1/06（2006.01）I 分类 液体变容式机械；液体泵或弹性流体泵;
发明人 王延恺;迮建军;古宏伟;蔡渊 申请（专利权）人 苏州新材料研究所有限公司
代理机构 苏州创元专利商标事务所有限公司 代理人 范晴
地址 215000江苏省苏州市工业园区星湖街218号生物纳米园C18楼
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了用于MOCVD上控制流量的泵液装置，包括液体容器、安装在所述液体容器上的液体管道和气体管道、以及控制中心；气体管道的一端连接气体源，气体管道的另一端连接液体溶液，所述气体管道上安装有用于检测并控制气体流量的质量流量控制器，所述液体管道上安装有用于检测液体流量的液体流量传感器，所述质量流量控制器、所述液体流量传感器均与所述控制中心电连接。该泵液装置通过液体流量来反馈控制气体流量，只要在控制中心上设定液体流量，控制中心即可精确地调节气体流量，进而达到精确控制液体流量的目的。