一种多晶硅锭碳氧含量控制装置
基本信息
| 申请号 | CN201920907911.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN210826440U | 公开（公告）日 | 2020-06-23 |
| 申请公布号 | CN210826440U | 申请公布日 | 2020-06-23 |
| 分类号 | C30B27/02(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 吴春林 | 申请（专利权）人 | 浙江鹏展新能源科技有限公司 |
| 代理机构 | 嘉兴启帆专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 廖银洪 |
| 地址 | 314000浙江省嘉兴市嘉善县惠民街道台升大道1号17号楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种多晶硅锭碳氧含量控制装置，属于碳氧含量控制设备技术领域，包括晶体生长炉体、放置架和炉盖，所述晶体生长炉体内腔安装有放置架，所述晶体生长炉体顶部表面安装有炉盖，且炉盖一端通过铰链与晶体生长炉体活动相连，所述晶体生长炉体一侧表面固定连接有进气管，所述进气管一端串接有流量传感器，所述进气管另一端串接连接有压力传感器，所述晶体生长炉体底部固定连接有排气管，所述晶体生长炉体底部一侧安装有真空泵，且真空泵输入端与排气管末端相连。本实用新型通过选用高纯度的材料的石英坩埚，以减少氧元素的进入，并且通过控制流入晶体生长炉体内的氩气流量，进一步的控制晶体中的氧碳含量。 |
