一种双晶振片晶控探头
基本信息
| 申请号 | CN202120611551.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215050671U | 公开（公告）日 | 2021-12-07 |
| 申请公布号 | CN215050671U | 申请公布日 | 2021-12-07 |
| 分类号 | C23C14/54（2006.01）I;C23C14/56（2006.01）I;C23C16/52（2006.01）I;C23C16/54（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 战永刚;陈合金;战捷;冯红涛;尹强 | 申请（专利权）人 | 深圳市三束镀膜技术有限公司 |
| 代理机构 | 深圳市中科创为专利代理有限公司 | 代理人 | 刘曰莹 |
| 地址 | 518000广东省深圳市龙华区福城街道福民社区核电工业园5号101 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种双晶振片晶控探头包括：安装部，包括一第一安装板和两第二安装板，两所述第二安装板分别固定于所述第一安装板的相对的两侧；两晶振片组件，并排安装固定于所述第一安装板上；驱动组件，包括一驱动电机，所述驱动电机安装于一固定板上，所述固定板与所述第一安装板固定连接；挡板组件，包括：挡板、两第一连杆和两第二连杆，每一所述第一连杆一端铰接连接于所述挡板上，另一端连接至所述驱动组件的动力输出轴上；每一所述第二连杆一端铰接连接于所述挡板上，另一端铰接连接于一所述第二安装板上；所述第一连杆和所述第二连杆平行设置。本实用新型结构合理，造价低，杜绝了气动元件放在真空室里存在漏气的安全隐患。 |
