一种封闭式挡板结构
基本信息
| 申请号 | CN202110373738.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112921279A | 公开（公告）日 | 2021-06-08 |
| 申请公布号 | CN112921279A | 申请公布日 | 2021-06-08 |
| 分类号 | C23C14/30 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 战永刚;金小桃;战捷;汤兆胜;尹强 | 申请（专利权）人 | 深圳市三束镀膜技术有限公司 |
| 代理机构 | 深圳市中科创为专利代理有限公司 | 代理人 | 刘曰莹;彭涛 |
| 地址 | 518000 广东省深圳市龙华区福城街道福民社区核电工业园5号101 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种封闭式挡板结构，所述挡板结构包括挡板、观察筒、支撑架和驱动机构，所述挡板为一底端开口顶端密闭的筒形结构，所述挡板的侧壁上设有一开孔，所述开孔连接所述观察筒一端，所述观察筒固定于所述支撑架上，所述驱动机构的动力输出端连接至所述支撑架上，驱动所述支撑架升降和转动。本发明的挡板结构应用于电子枪镀膜装置上后，能够在膜料预熔时将蒸发源完全封闭，避免了坩埚周边的严重脏污和基片被污染的情况，且本挡板结构上还设有观察筒，可在挡板扣下时实时对膜料的熔料状况进行观察。本发明用于双电子枪的镀膜设备时，可防止两个坩埚的膜料相互污染。 |
